実験設備

  • パルスレーザー堆積装置（ラジカルソース付属）
  • スパッタリング装置
  • ミスト化学気相堆積装置
     
  • 超純水製造装置
  • 各種電気炉
  • 赤外線イメージ炉
  • グローブボックス
  • マスクレス露光装置
     
  • 薄膜用4軸X線回折装置
  • 走査型電子顕微鏡（EDX付属）
  • 走査プローブ顕微鏡
  • 触針式段差計
  • 磁気光学スペクトル/ホール効果測定装置
  • 紫外可視近赤外分光装置
  • フーリエ変換赤外分光装置
  • 電気化学測定装置
  • デジタルマイクロスコープ
  • 熱重量示差熱分析装置
  • 分光感度測定装置